Quarzkristallmikrowaage (QCM)
Piezoelektrische Kristalle werden schon seit circa 50 Jahren zur Detektion von Materialabscheidungen verwendet.
Der Piezoeffekt ist beispielsweise bei α-Quarz zu beobachten und äußert sich durch Auftreten einer Spannung, wenn der Kristall deformiert wird. Umgekehrt bewirkt eine angelegte Spannung eine Deformation des Kristalls. Eine Wechselspannung verursacht eine Dickenscherschwingung, die von der Dicke des Quarzkristalls abhängig ist. Die durch die Materialabscheidung auftretende Veränderung der Gesamtdicke führt zu einer Verschiebung der Resonanzfrequenz, welche aufgezeichnet wird. Auf diese Weise lässt sich selbst die Adsorption einer Monolage registrieren.
