Elektronenstrahlmikrosonde
Die Frankfurter Elektronenstrahlmikrosonde der Firma Jeol, Modell JXA-8530F Plus Hyperprobe mit Feldemissionskathode, wird seit dem 25. Februar 2019 installiert. Sie ersetzt das frühere Modell mit Wolframkathode, Jeol JXA 8900 Superprobe, das fast 23 Jahre hervorragenden Dienst geleistet hat. Die neue Mikrosonde ist wie die bisherige mit fünf Kristallspektrometern ausgestattet und kombiniert wellenlängen- (WDS) und energiedispersive (EDS) Analytik mit den elektronenoptischen Möglichkeiten eines Rasterelektronenmikroskops (REM). Das Besondere der neuen Sonde ist die hohe Ortsauflösung bedingt durch die Feldemissions-Elektronenquelle. Der Strahldurchmesser beträgt z.B. bei 10 kV Anregungsspannung und 20 nA Strahlstrom etwa 40 nm (zum Vergleich: 250 nm in einem Gerät mit Wolframkathode). Außerdem ist die neue Sonde mit insgesamt 6 der neu entwickelten „Large“ Spektrometerkristalle ausgestattet, die eine weitere Verbesserung für die Analyse leichter Elemente und für Elemente im Spurenkonzentrations-Bereich darstellen (s. Konfiguration der Mikrosonde).
- Information für Benutzer
- Konfiguration der Mikrosonde
- Funktion der Mikrosonde
- Publikationsliste
Das Mikrosondenteam erwartet Sie
